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直線(xiàn)互聯(lián)系統

直線(xiàn)互聯(lián)系統與圓型傳樣系統互為補充,均可實(shí)現樣品在超高真空的環(huán)境下在不同系統間的傳遞,但是側重點(diǎn)略有不同。圓形傳樣系統相對較為緊湊,適合于小型實(shí)驗室級別的互聯(lián)搭建;直線(xiàn)互聯(lián)系統單次傳遞的樣品尺寸和數量更多,適合于較大型的互聯(lián)搭建。同時(shí)圓形傳樣系統和直線(xiàn)傳樣系統也能實(shí)現互相搭配,例如圓形搭配直線(xiàn),圓形搭配圓形,或者直線(xiàn)再擴展。費勉儀器已經(jīng)有豐富的設計和搭建經(jīng)驗和案例供用戶(hù)參考。

費勉儀器的直線(xiàn)互聯(lián)系統采用了自有知識產(chǎn)權(發(fā)明專(zhuān)利號:ZL201611011730.7), 能夠實(shí)現傳輸小車(chē)自動(dòng)穿越法蘭接口和閘板閥,方便樣品長(cháng)距離的馬達化傳輸。同時(shí)與現有的很多互聯(lián)系統不同,我們將小車(chē)的耦合裝置置于系統的底部,這樣的結構更加方便樣品的觀(guān)察和操作同時(shí)節約了安裝空間,使系統也更加美觀(guān)。


規格說(shuō)明
LDC1000
腔體內徑150mm
系統對接法蘭NW63CF(可定制)
觀(guān)察口法蘭CF63 (可定制)
最小單元長(cháng)度2米
最長(cháng)長(cháng)無(wú)限制
泵組搭配分子泵組,復合離子泵組(Ion+NEG)
樣品運動(dòng)速度3 m/min
極限真空<3x 10-10 mbar
線(xiàn)性重復精度<0.1mm
最高烘烤溫度150℃


標簽: 超高真空MBE
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