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核心技術(shù)
薄膜制備
完善各種蒸發(fā)技術(shù)的開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化,實(shí)現對蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)及磁控蒸發(fā)的消化,在現有的技術(shù)進(jìn)步優(yōu)化和改善傳統技術(shù)上,提供全周期表的解決方案,與OLED,芯片制造等領(lǐng)域的專(zhuān)家合作,實(shí)現大容積工業(yè)化鍍膜設備的產(chǎn)業(yè)化。
真空技術(shù)
借助于目前國內的制造業(yè)優(yōu)勢和人才優(yōu)勢,通過(guò)標準真空產(chǎn)品和定制化系統兩個(gè)渠道,提高再?lài)鴥韧馐袌?chǎng)占有率,同時(shí)利用自身的優(yōu)勢,服務(wù)國家重大科學(xué)項目和產(chǎn)業(yè)結構轉型,為航空航天,材料研究,芯片制造等提供基礎支撐。
低溫技術(shù)
基于在基礎研究領(lǐng)域積累的技術(shù)優(yōu)勢,深入挖掘各種無(wú)液氦電制冷技術(shù),實(shí)現對現有液氦制冷技術(shù)的替代,做到更好的技術(shù)指標和操作性。此外把低溫技術(shù)利用到生物冷凍和基因領(lǐng)域,試制一些低溫存儲和傳輸樣機,從源頭解決生物無(wú)損保存的問(wèn)題。
等離子技術(shù)
提高等離子的發(fā)生效率和功率,為小型化及工業(yè)應用做準備;紫外光源前期將面對科研的光譜和質(zhì)譜用戶(hù),后期將瞄準光刻等高端需求,離子源將作為工業(yè)化用途,完成對目前離子源技術(shù)的替代。
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