核心技術(shù)
core technology
超高真空(Ultra High Vacuum,UHV)是指壓力低于1×10-8mbar的真空狀態(tài)。在這種環(huán)境下,氣體分子的數量非常稀少,平均自由程約數十公里,處于分子流狀態(tài),幾乎所有分子相互作用都發(fā)生在腔體的各個(gè)表面上。典型的固體表面原子密度約為1015cm-2,假設碰撞到表面上的分子完全被吸附,在10-6mbar的真空壓力下形成分子單層僅需幾秒,而在10-10mbar或10-11mbar真空下時(shí),形成單分子層的時(shí)間則達幾小時(shí)到幾十小時(shí),因此,潔凈的材料表面都必須在超高真空環(huán)境下獲得和保持。
UHV技術(shù)的應用廣泛覆蓋多個(gè)領(lǐng)域,包括材料科學(xué)、表面科學(xué)、半導體工業(yè)和光學(xué)研究等。在超高真空的環(huán)境中,研究者能夠更加準確地深入研究材料的特性、探索表面化學(xué)反應和微觀(guān)結構,同時(shí)應用于制造高性能電子器件等前沿領(lǐng)域。
超高真空技術(shù)主要涉及超高真空的獲取、測量和維持,以及UHV條件下的運動(dòng)。費勉儀器已成功掌握超高真空狀態(tài)下涉及的一系列精密而復雜的技術(shù),包括高效的真空泵系統、特殊材料的選擇和處理、精密的真空腔室設計,以及準確的真空測量和控制系統。這些技術(shù)的綜合運用使得超高真空環(huán)境不僅能夠提供極低的氣體分子干擾,同時(shí)能夠穩定地維持這種高度真空狀態(tài)。我們成功自主開(kāi)發(fā)了多項真空系統的核心組件,獲得真空領(lǐng)域授權專(zhuān)利28個(gè)。
我們自產(chǎn)的真空部件,不僅能滿(mǎn)足用戶(hù)在超高真空環(huán)境中的多維線(xiàn)性和旋轉運動(dòng),并且可以實(shí)現真空系統中穩定精準傳樣。
真空部件均采用超高真空兼容材料,能夠在10-11mbar至1bar的工作氣壓范圍內穩定運行。
超高真空直線(xiàn)互聯(lián)系統,可集成材料制備、材料處理、材料表征和量測類(lèi)等多種功能性設備,實(shí)現材料全生命周期的綜合物性研究。
直線(xiàn)互聯(lián)系統采用模塊化設計,拓展性強,極限真空可達10-11mbar量級。
圓形傳樣互聯(lián)系統基于多通道圓形傳樣系統的模塊化設計,結構緊湊,運行高效。它既適用于小型實(shí)驗室級別的互聯(lián)搭建,也可以實(shí)現大型設備平臺的構建。
圓形傳樣互聯(lián)系統極限真空可達10-11mbar量級,同時(shí)采用固體潤滑薄膜技術(shù),可靠耐用。