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EN 021-6525 3206

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閉循環(huán)低溫樣品架-5A軸

費勉儀器提供的5A軸閉循環(huán)低溫樣品架可以實(shí)現樣品位置以及姿態(tài)的精確控制，它主要由低溫樣品桿、溫度控制系統、XYZ-R1位移臺、馬達控制系統四部分組成。整個(gè)樣品架及位移臺均使用無(wú)磁材料，可以在超高真空下使用。樣品臺可以在X、Y、Z方向大范圍移動(dòng)，并可實(shí)現繞Z軸的旋轉運動(dòng)（R1），樣品架頭部增加了齒輪傳動(dòng)機構以實(shí)現樣品臺面內角旋轉（R3）功能。 馬達控制軟件可以與ScientaOmicron的分析器聯(lián)動(dòng)，實(shí)現automapping功能。

規格說(shuō)明
● 運行成本低：采用風(fēng)（水）冷式GM制冷機提供冷量；● 多自由度：X、Y、Z、R1 、R3均可實(shí)現馬達控制；● 操作便捷：即插即用，可長(cháng)時(shí)間穩定運行；
● 超低溫：樣品臺最低穩定可達5K；● 精準控溫：PID控溫精度可達10mK；● 快速變溫：從室溫至5K，小于4小時(shí)；

R1軸向旋轉360°（-180°，+ 180°）
R3面內角旋轉240°（-120°，+ 120°）
X / Y行程25mm（±12.5mm）
Z行程最大650mm

4-軸5A-軸5F-軸5.5-軸6-軸
XY行程±12.5mm±12.5mm±12.5mm±12.5mm±12.5mm
Z行程最長(cháng)700mm最長(cháng)700mm最長(cháng)700mm最長(cháng)700mm最長(cháng)700mm
XYZ驅動(dòng)手動(dòng)/馬達手動(dòng)/馬達手動(dòng)/馬達手動(dòng)/馬達手動(dòng)/馬達
XYZ精度＜0.01mm＜0.01mm＜0.01mm＜0.01mm＜0.01mm
R1范圍360°（-180°，+180°）360°（-180°，+180°）360°（-180°，+180°）360°（-180°，+180°）360°（-180°，+180°）
R1控制方式手動(dòng)/馬達手動(dòng)/馬達手動(dòng)/馬達手動(dòng)/馬達手動(dòng)/馬達
R1控制精度＜0.1°＜0.1°＜0.1°＜0.1°＜0.1°
R1減速比360:0.2360:0.2360:0.2360:0.2360:0.2
R2（Flip)范圍————60°（-15°，+45°）60°（-15°，+45°）60°（-15°，+45°）
R2驅動(dòng)————馬達手動(dòng)/馬達手動(dòng)/馬達
R2精度————＜0.1°＜1°＜0.1°
R2減速比————360:9360:6360:3
R3（Azi)范圍——240°（-120°，+120°）——240°（-120°，+120°）240°（-120°，+120°）
R3驅動(dòng)——手動(dòng)/馬達——手動(dòng)手動(dòng)/馬達
R3精度——＜0.1°——手動(dòng)＜1°＜0.1°
R3減速比——360:5——360:4.5360:4
溫度范圍＜4-325K＜5-325K＜5-325K＜6-325K＜6-325K
最低溫度＜4K＜5K＜5K＜6K＜6K
控制精度＜0.01K＜0.01K＜0.01K＜0.01K＜0.01K
降溫時(shí)間＜3 Hour (RT-6K)＜4 Hour (RT-6K)＜4 Hour (RT-6K)＜5 Hour (RT-6K)＜6 Hour (RT-6K)


降溫曲線(xiàn)

標簽： 超高真空MBE
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