費勉設計一款多氣路面板用于提供優(yōu)于100ppt級別高純紫外光源工作氣體,包含 He, Ne, Ar, Kr, Xe...等多種工作氣體,提高光子分辨率,延長(cháng)燈頭使用壽命。
● 精密氣體流量控制:0.1sccm-10sccm | ● 純度:純化后氣體純度優(yōu)于100ppt |
● 多路氣體切換 | ● 全金屬VCR超高純氣路標準設計 |
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