材料放氣率測試系統OGMS-100由真空抽氣模塊、小孔流導法測量模塊、溫度控制模塊與質(zhì)譜分析模塊等四部分組成。該系統采用小孔流導法，通過(guò)在不同溫度下對主腔室、測試腔以及對照腔的真空檢測，可以計算出材料在不同溫度下的放氣率。系統采用完全對稱(chēng)的雙測試腔室結構，可以排除腔體本底放氣以及其他部件放氣對測試結果的影響，使結果更具真實(shí)性。同時(shí)，系統在測試腔和對照腔配有質(zhì)譜分析模塊，可以動(dòng)態(tài)、實(shí)時(shí)、精確的對放氣成分進(jìn)行檢測和分析。
| 材料放氣率測試系統OGMS-100 | |
雙腔室結 | 測試腔用于裝載待測材料，對照腔室為空腔，從而校正實(shí)驗中本底放氣和其它干擾因素 |
| 小孔流導設計 | 兩個(gè)腔體之間通過(guò)小孔相連，通過(guò)對氣體流動(dòng)的檢測，計算材料的放氣速率 |
| 高精準性 | 檢測下限可達5×10-10（Pa·m3）/（s·cm2） |
| 適用性廣泛 | 可在不同溫度（RT-1100℃）和壓力條件下測量，滿(mǎn)足各種材料的測試需求 |
| 快速響應性 | 從常壓到極限真空12小時(shí)，大幅提升測試效率 |
| 系統組成 | 配置描述 |
| UHV主腔室 | 標準立方腔體采用耐腐蝕不銹鋼（SS316）制造，確保長(cháng)期穩定性 |
| 配備高真空泵組，包括國際一線(xiàn)品牌分子泵和干泵，極限真空壓力5E-9mbar | |
| 測試腔與對照腔 | 柱狀腔體設計，極限真空平衡1E-8mbar |
| 溫度范圍RT-1100℃，控溫精度±0.5℃ | |
| 質(zhì)譜儀 | 可測量質(zhì)荷比≥200Th，分壓檢測分別達到1×10-11Pa |
| 對材料釋放的氣體成分進(jìn)行分子水平的定量和定性分析 | |
| 快速進(jìn)樣模塊（LL1和LL2） | 快速取放樣品，并可在12h內完成從常壓到超高真空的轉變 |
| 支持樣品在腔室間的安全、便捷傳輸 | |
| 智能化控制系統 | 標準化自動(dòng)控制軟件，支持質(zhì)譜儀、溫控模塊和真空系統的集成管理，一鍵啟停，可單獨控件 |
| 實(shí)時(shí)監控系統狀態(tài)，支持數據導入、導出、查詢(xún)及截取篩選，實(shí)時(shí)顯示真空度、氣體分子量與時(shí)間或溫度關(guān)系，兼具2D圖標及3D視圖 | |
| 加熱模式切換功能，手動(dòng)/自動(dòng)程序設定切換功能，可設定采樣周期，可定時(shí)啟動(dòng)，氣體分子量1-100可掃描可篩選，實(shí)時(shí)記錄系統操作流程 | |
| 內置真空邏輯互鎖、烘烤與加熱互鎖及腔體過(guò)熱保護，控制界面防誤觸、確保設備和實(shí)驗的安全性 |
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