費勉儀器Demo系統一期正式交付

2020年4月27日，費勉儀器科技（上海）有限公司（FERMI INSTRUMENTS）設計并搭建的Demo一期系統在公司內部完成各項指標驗收，正式交付費勉儀器科研產(chǎn)品部阿力甫教授團隊。

薄膜制備、真空、低溫、等離子技術(shù)是費勉儀器的四大技術(shù)方向，費勉儀器整合自身優(yōu)勢，自主開(kāi)發(fā)搭建一整套Demo系統，包括薄膜制備、真空互聯(lián)和分析測量部分，以便更好的服務(wù)客戶(hù)，提供更加專(zhuān)業(yè)的技術(shù)方案。
該系統平臺為FERMI INSTRUMENTS成熟產(chǎn)品，由費勉代表性產(chǎn)品組成。此次交付為一期系統，包括超高真空薄膜生長(cháng)系統和圓形傳樣系統兩個(gè)模塊。

▲Demo系統一期交付成功

超高真空薄膜生長(cháng)系統

超高真空薄膜生長(cháng)系統Cubic腔體本底真空優(yōu)于5×10-10mbar；目前配有高溫蒸發(fā)源和mini電子束蒸發(fā)源，適用于多種材料生長(cháng)。
搭配樣品架為五軸高溫樣品架和四軸高低溫樣品架，其中：
五軸高溫樣品架最高工作溫度為1200K（熱輻射加熱）或 1500K（電子束加熱），控溫精度好于0.1℃，同時(shí)保證了樣品臺的多自由度運動(dòng)與位置準確性；
四軸高低溫樣品架除具備相同的高溫指標外，可通過(guò)液氮冷卻到最低溫150K；

▲超高薄膜真空生長(cháng)系統	▲樣品臺多自由度運轉

圓形傳樣系統RDC820

RDC820采用了超高真空中樞的思路，不銹鋼腔體標配8個(gè)對接口，機械臂可以從任何一個(gè)口伸出820mm，伸縮比遠優(yōu)于普通傳樣桿結構。除了旋轉和伸縮自由度外，RDC820的機械臂還具有升降自由度，用來(lái)適應不同系統之間的高度差異；機械臂配合彈道模塊可以實(shí)現360度的翻轉，用來(lái)配合不同系統之間不同的樣品取向；通過(guò)搭配標準的Flag Type Sample holder，機械臂可以通過(guò)一個(gè)特制的機構實(shí)現樣品托的取放。此圓形傳樣系統為之后連入更多不同功能的系統預留了充足的擴展空間。

▲圓形傳樣系統RDC820

▲機械臂360°自由翻轉	▲機械臂自由伸縮

這是費勉儀器第一次在公司內部正式交付一套整機系統，將作為公司內部系統教學(xué)培訓平臺和對外技術(shù)展示窗口，一期系統將主要用于薄膜制備，為客戶(hù)提供蒸發(fā)源應用于各種材料生長(cháng)所需要的專(zhuān)業(yè)數據。在此基礎上，未來(lái)還將利用低溫、等離子技術(shù)的優(yōu)勢陸續對接不同費勉儀器產(chǎn)品，如擴展超高分辨角分辨光電子能譜測量系統等。費勉儀器擁有強大的系統集成和研發(fā)能力，我們希望與國內外更多優(yōu)秀科研工作者合作，持續提供更加專(zhuān)業(yè)的技術(shù)服務(wù)和完善的解決方案。