該裝置可以在超高真空環(huán)境中對二維材料進(jìn)行原位剝離、堆垛，由超高真空腔體、四軸樣品停放臺、堆垛臺、解離臺(含壓力傳感器)、反套顯微鏡、RHEED等部件組成。
| 反套顯微鏡 | |||
| 特殊內凹對接法蘭設計,可使鏡頭更好對焦在樣品表面 | 變倍機制靈活，手動(dòng)或電動(dòng)變倍可選 | 開(kāi)放式的成像系統，可自由集成自動(dòng)聚焦、DIC、偏光、光譜分析等功能模塊，構建全自動(dòng)化機器視覺(jué)檢測系統 | |
| 超高真空腔體及支架 | |||
| 超高真空標準腔體，SS316不銹鋼材質(zhì) | 符合超高真空標準的法蘭口 | 標準樣品托,可集成在樣品架上 | 固定支撐結構在設備定位后將系統支撐不易晃動(dòng)，更加牢 |
| RHEED(反射高能電子衍射儀) | |||
| 由高能電子槍和熒光屏(裝在對面視窗上)組成 | 反映樣品表面的結構信息 | 可用于研究晶體生長(cháng)、吸附、表面缺陷等方面 | |
| 四軸樣品停放臺 | |||
| 由樣品停放臺、二維平移臺、線(xiàn)性驅動(dòng)、緊湊型差分旋轉組成 | 可同時(shí)停放13個(gè)旗狀樣品托 | 頂部的樣品停放位可用顯微鏡觀(guān)測樣品 | 可實(shí)現X、Y、Z、θ方向移動(dòng) |
| 四軸高低溫樣品架 | |||
| 樣品臺溫度范圍:110K-600K | 可實(shí)現X、Y、Z、θ方向移動(dòng) | ||
| RHEED屏顯微鏡 | |||
| 由顯微鏡、顯微鏡支架、三棱鏡、遮光罩組成 | 90°反射光路 | 結構緊湊 | |
| 機械手 | |||
| 可實(shí)現各停放臺之間樣品托的轉移 | |||
| 解離臺 | |||
| 由解離臺、緊湊型差分旋轉、三角調平機構組成 | 通過(guò)三角調平機構來(lái)實(shí)現解離臺上單晶材料的水平度控制 | 與頂部的堆垛臺用銅辮子連接導冷 | 解離臺內置壓力傳感器 |
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