緊湊型差分旋轉驅動(dòng)結構更緊湊，適用于空間受限的場(chǎng)合。它分為上下兩個(gè)法蘭，分別為安裝法蘭和運動(dòng)法蘭，在安裝法蘭固定后，允許上方運動(dòng)法蘭360°連續旋轉。其差分結構搭配合理的差抽泵組，可適用于10-11 mbar的超高真空實(shí)驗，如樣品表面分析 (APXPS，STM或SIMS) /離子/中子/原子散射實(shí)驗等。
| ● 單差分實(shí)現超高真空性能 | ● 適用于10-11 mbar超高真空環(huán)境 | ● 烘烤溫度：150°C（移除電機及其組件） |
| ● 旋轉范圍：360°（可連續旋轉） | ● 手動(dòng)/電機驅動(dòng) | ● 上端安裝法蘭：CF法蘭，螺紋孔 |
| ● 下端安裝法蘭：CF法蘭，通孔 |
| 品名 | 緊湊型差分旋轉驅動(dòng)（CDPRF） | ||||||
| 安裝法蘭 | CF35 | CF63 | CF100 | ||||
| 法蘭 尺寸 | 毫米 | 70 | 114 | 152 | |||
| 英寸 | 2.75 | 4.5 | 6.0 | ||||
| 旋轉角度 | 360° | 360° | 360° | ||||
| 驅動(dòng) | 手動(dòng) | 步進(jìn)電機 | 手動(dòng) | 步進(jìn)電機 | 手動(dòng) | 步進(jìn)電機 | |
| A (mm) | 147 | 210 | 180 | 239 | 218 | 281 | |
| B (mm) | 115 | 122 | 146 | 153 | 182 | 190 | |
| C (mm) | 81 | 81 | 92 | 92 | 96 | 96 | |
| D (mm) | 35 | 35 | 63 | 63 | 103 | 103 | |
| 分辨率 | 1° | 0.001° | 1° | 0.001° | 1° | 0.001° | |
| 重量 (kg) | 1.7 | 2.2 | 4.8 | 5.3 | 7 | 7.5 | |
| 型號 | CDPRF35M | CDPRF35A | CDPRF63M | CDPRF63A | CDPRF100M | CDPRF100A | |
| XY驅動(dòng) | 3040400001 | 3040400002 | 3040400003 | 3040400004 | 3040400005 | 3040400006 | |
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