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原位輸運測量系統 TEMA-200

無(wú)液氦原位輸運測量系統,由進(jìn)樣/制備室和分析室組成,可實(shí)現超高真空下的樣品傳遞及測量;兼容旗狀樣品托,采用無(wú)液氦制冷機和壓電陶瓷進(jìn)針機制,特別適合原位生長(cháng)薄膜的無(wú)損測試;可與MBE/PLD/SPUTTER等系統實(shí)現真空互聯(lián),完成薄膜樣品的(磁)電阻、霍爾效應的測量(可擴充SQUID功能);系統預留了光學(xué)窗口,可實(shí)現光電聯(lián)用的測量。

規格說(shuō)明
● 適用于薄膜樣品的原位生長(cháng)和原位輸運測量 ● 真空傳遞的旗狀樣品托,可實(shí)現原位換針、樣品
● 準備腔具有樣品摻雜、刻蝕、解理、鍍膜等功能● 磁場(chǎng)夾角可調,最大磁場(chǎng)強度達~10T
● 溫度范圍:5K~325K,最低可達4K(無(wú)液氦冷臺)● 測試通道數:5

                                                                                                                                                                                               
標簽: 超高真空MBE
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