費勉儀器新一代復雜超高真空系統用遠程等離子清洗源技術(shù)

費勉儀器（FERMI INSTRUMENTS）目前已成功開(kāi)發(fā)出針對復雜真空系統碳污染原位清除的新一代遠程等離子清洗源。

低壓氣體受外界能量激發(fā)產(chǎn)生等離子體，包括電子、離子、中性原子或基團等不同成分，依靠活性粒子的“活化作用”與物體表面進(jìn)行物理轟擊和化學(xué)反應雙重作用，將所需去除物質(zhì)變?yōu)閾]發(fā)性物質(zhì)，即可經(jīng)由抽真空去除。較之常規化學(xué)清洗，等離子表面處理不需要區分處理對象的基材類(lèi)型，除去一些電敏感性設備，可用于金屬、有機物等多種材料，不產(chǎn)生有害污染，綜合成本低，此外還可以改善材料表面附著(zhù)性能，因而廣泛應用于等離子清洗、表面處理等領(lǐng)域。

目前，費勉儀器已開(kāi)發(fā)出新一代遠程等離子清洗源，則取消了腔體內部電極設計，更加安全方便。系統適用于超高真空工作環(huán)境，工作過(guò)程不需要拆除其他真空部件，并且無(wú)需拆除清洗源即可進(jìn)行后續烘烤，使得真空系統可以更加長(cháng)久地保持良好的真空度。 

▲復雜超高真空系統等離子清洗

新一代等離子清洗源工作氣壓從E-3 mbar到1 mbar，工作氣體選擇廣泛，以匹配去除不同類(lèi)型的污染物?？筛鶕?shí)際需求將等離子體中離子與活化分子分離，避免離子轟擊對表面產(chǎn)生傷害或者加熱樣品，僅通過(guò)活化成分，如氧原子、活性氧分子等與有機物進(jìn)行反應，去除表面污染。

▲小巧等離子清洗腔

實(shí)踐過(guò)程中，根據實(shí)際腔體或者部件、硅片等不同需求，對離子源功率以及氣壓進(jìn)行調節，可以迅速得到完全潔凈和無(wú)氧化層的表面，即使是邊遠角落也可以有效清除，從而維護真空環(huán)境的潔凈。

▲等離子清洗機

▲等離子清洗機清洗中

費勉儀器（FERMI INSTRUMENTS）長(cháng)期致力于為全球科研機構、國家重大儀器項目和高端工業(yè)需求提供精密儀器裝置、核心技術(shù)、整體解決方案，此次開(kāi)發(fā)的等離子清洗系統可用于復雜真空互聯(lián)系統，避免開(kāi)腔產(chǎn)生二次污染，工藝過(guò)程易控制，清洗精度高，能夠有效去除油脂、油污等有機物及氧化層以及沉積殘余，營(yíng)造良好的實(shí)驗環(huán)境，熱忱歡迎廣大客戶(hù)前來(lái)接洽。