費勉儀器Demo系統一期正式交付
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2019年12月6日,費勉儀器向復旦大學(xué)張遠波教授提供的原位閉循環(huán)低溫輸運系統完成現場(chǎng)安裝測試。該系統可實(shí)現MBE生長(cháng)和原位10電極輸運測量的超高真空互聯(lián),樣品最低溫度小于4K。所有指標達到合同標準。
(圖1)原位10電極閉循環(huán)低溫輸運與MBE互聯(lián)系統