VCC系列腐蝕性裂解源，通常適用于Sb、Te、Mg、CdTe等腐蝕性材料蒸發(fā)。固態(tài)材料在大容量坩堝內加熱后產(chǎn)生束流，經(jīng)過(guò)高溫裂解區后形成反應活性高的小分子束流，可有效提高材料利用效率，減少材料浪費。該裂解源采用專(zhuān)門(mén)設計的全熱解氮化硼（PBN）坩堝與閥門(mén)結構，可有效避免材料腐蝕源爐。PBN閥門(mén)可精確控制束流開(kāi)關(guān)，提供快速穩定束流，束流重復程度良好。另外，閥門(mén)易于拆卸，并可通過(guò)傳導區實(shí)現輕松裝料。獨特設計的擴散板結構可控制束流分布狀態(tài)，提高束流均勻性。
| ● 全PBN坩堝與閥門(mén) | ● 束流重復性高 | ● 適用于大容量坩堝 |
| ● 溫度穩定性?xún)?yōu)于±0.2℃ | ● 裂解區配備獨立水冷套，水冷可單獨拆卸 |
| 蒸發(fā)源型號 | VCC300 | VCC2000 | |
| 坩堝容積 (cc) | 300 | 2000 | |
| 安裝法蘭尺寸 | CF63 | CF150 | |
| 總長(cháng)度 (mm) | 956 | 962.6 | |
| 真空內長(cháng)度 (mm) | 342 | 350.2 | |
| 真空內外徑 (mm) | 54.3 | 86 | |
坩堝尺寸 (mm) | 直徑 | 36 | 35.9 |
| 高度 | 592.6 | 663.74 | |
| 最高除氣 溫度(℃) | 裂解區 | 1200 | |
| 傳導區 | 1000 | 800 | |
| 蒸發(fā)區 | 800 | ||
常用工作 溫度(℃) | 裂解區 | 1200 | |
| 傳導區 | 600-1000 | 300-700 | |
| 蒸發(fā)區 | 200-600 | ||
| 溫度穩定性 | ≤±0.2℃ | ||
| 驅動(dòng) | PBN材質(zhì) | ||
| 閥門(mén)驅動(dòng)器 | 步進(jìn)電機 | ||
| 束流變化范圍 | 2-3個(gè)數量級變化 | ||
| 水冷套 | 蒸發(fā)區配備標準水冷套，裂解區水冷套可選配 | ||
| 烘烤溫度 | 250℃ | ||
| 訂購編碼 | 3205010125 | 3205010043 | |
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