直線(xiàn)伸縮驅動(dòng)通過(guò)真空外的旋轉運動(dòng)轉換為真空內的高精度的直線(xiàn)伸縮運動(dòng)。采用SS316L材料焊接的波紋管密封,可適用于10-11mbar的超高真空環(huán)境,操作平穩,精度高。
● 壓力范圍:1bar~10-11mbar | ● 最高烘烤溫度:150℃ | ● 焊接波紋管材質(zhì):SS316L |
● 安裝法蘭:CF16法蘭、通孔 | ● 可接受定制 | ● 任意方向均可安裝 |
品名 | 直線(xiàn)伸縮驅動(dòng)(LM) | ||||||
安裝法蘭 | CF16 | ||||||
法蘭 尺寸 | 毫米 | 34 | |||||
英寸 | 1.33 | ||||||
行程(mm) | 25 | 50 | 100 | ||||
A拉伸(mm) | 61 | 86 | 136 | ||||
A壓縮(mm) | 36 | 36 | 36 | ||||
B(mm) | 160 | 250 | 204 | 294 | 295 | 385 | |
驅動(dòng) | 手動(dòng) | 步進(jìn)電機 | 手動(dòng) | 步進(jìn)電機 | 手動(dòng) | 步進(jìn)電機 | |
分辨率 | 0.01 | 0.005 | 0.01 | 0.005 | 0.01 | 0.005 | |
重量(kg) | 0.75 | 0.95 | 0.85 | 1 | 0.95 | 1.15 | |
型號 | LM16L25M | LM16L25A | LM16L50M | LM16L50A | LM16L100M | LM16L100A | |
訂購編碼 | 3041400002 | 3041400003 | 3041400004 | 3041400005 | 3041400007 | 3041400008 |
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