高溫(HT)和超高溫(UT)蒸發(fā)源的最大工作溫可達1800℃和2000℃，采用粗鎢絲自支撐式加熱絲，內置電極水冷，建議搭配外置或者內襯水冷套使用。
| ● 高溫蒸發(fā)源最大工作溫可達1800℃ | ● 超高溫蒸發(fā)源最大工作溫可達2000℃ | ● 程序控溫，溫度波動(dòng)最小≤0.1% |
| ● 保溫效果好，功率較低 | ● 內置電極水冷 | ● 真空內長(cháng)度可定制 |
高溫 蒸發(fā)源 | 模塊描述 | 配置參數 | |
| 型號 | E38HT | E38UT | |
| 尺寸 | 安裝法蘭 | DN38CF | |
| 真空內長(cháng)度 | 290mm | ||
| 真空內外徑 | 36mm | ||
| 工作距離 | 200-300mm | ||
| 坩堝 | 坩堝容量 | 10cc | |
| 坩堝材質(zhì) | Al2O3, PBN, PG, W, Ta, Mo | ||
| 溫度 | 熱偶類(lèi)型 | C型 | |
| 工作溫度 | 800-1800℃ | 1000-2000℃ | |
| 溫度穩定性 | ≤0.1%，取決于PID溫控器 | ||
| 最高除氣溫度 | 1900℃ | 2000℃ | |
| 最高烘烤溫度 | 250℃ | ||
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