氫/氧熱裂解源通過(guò)高溫將氫/氧分子裂解為活性高的原子，常用于樣品處理或生長(cháng)。
| ● 最大工作溫度1800℃ | ● 內置水冷，降低對腔體熱輻射 |
| ● 頂部具有特殊結構擴散板，提高束流均勻性 |
| 氫/氧熱裂解源 | 模塊描述 | 配置參數 | |
| 型號 | E38HS | E38OS | |
| 尺寸 | 安裝法蘭 | DN38CF | |
| 真空內長(cháng)度 | 220mm | ||
| 真空內外徑 | 36mm | ||
| 溫度 | 熱偶類(lèi)型 | C型 | |
| 最高工作溫度/電流 | 1800℃/13A | 1700℃/13A | |
| 溫度穩定性 | ≤0.1%，取決于PID溫控器 | ||
| 最高除氣溫度/電流 | 2000℃/14A | 1900℃/14A | |
| 最高烘烤溫度 | 250℃ | ||
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